
| Ritiläkorkeus | 20 um |
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| Lämpölaajeneminen | 10,6 x 10⁻⁶ | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Resoluutio | 0,5–1–5 μm | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Toistettavuus | ±1 lisäys | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Maksiminopeus m/min | 60 (5 μm); 20 (1 μm) | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Lähtötyyppi | TTL / EIA422A | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Maks. kiihtyvyys | 20 m/s² | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Suojaus | IP54 | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Virtalähde | 60 mA maks. | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Vaiheen siirtymä | 90°±5° sähköinen | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Käyttölämpötila | 0°–50° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Säilytyslämpötila | -20°-- 80° | |||||||||||||||||||||||||||||||||
| Kosteus | 100 % ei tiivistetty |